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袋式過濾器在這些行業是怎么應用的呢?

發布日期:2017-11-14

過程簡述

半導體集成電路是指在半導體基板上,利用氧化、蝕刻、擴散等方法,將眾多電子電路組成各式二極管、晶體管等電子組件作在一微小面積上,以完成某一特定邏輯功能(例如:AND、OR、NAND等), 進而達成預先設定好的電路功能。半導體的生產工藝要求高,涵蓋光刻、精密切割和研磨等各種復雜工藝,生產半導體的過程會產生大量的廢水, 半導體廢水污染物種類多,成分復雜,通常包括多種重金屬廢水,有機廢水以及硅和氟廢水;同時半導體PCW系統的制程冷卻水須過濾處理以回用(見水處理應用)。

清洗工藝及廢水來源

問題描述

1.分產生廢水量大;

2.廢水成復雜,含有各種過渡性質的金屬如硅、鍺等,同時含有較高含量的氟;

3.廢水中含有難以處理的較高濃度的 COD。 

工藝

清潔源

容器

清潔效果

剝離光刻膠

氧等離子體

平板反應器

刻蝕膠

去聚合物

硫酸:=6:1

溶液槽

除去有機物

去自然氧化層

氟化氫:<1:50

溶液槽

產生無氧表面

旋轉甩干

氮氣

甩干機

無任殘留物

RCA1#(堿性)

氫氧化銨:過氧化氫:=1:1:1.5

溶液槽

除去表面顆粒

RCA2#(堿性)

氯化氫:過氧化氫:=115

溶液槽

除去重金屬粒子

DI清洗

去離子水

溶液槽

除去清洗溶劑


產品應用 

1.陶瓷膜過濾系統;

2.占地面積小,集中管理,智能控制;

3.產水質量高,同時去除廢水中的磷酸鹽和COD;

4.耐化學酸堿性佳,壽命長,維護簡便;

5.簡化傳統工藝,無需添加藥劑。

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折疊濾芯過濾器、精密過濾器、袋式過濾器等


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